Q1:做FIB對樣品有什麼要求?
A:(1)首先確認樣品成分及導電性;若導電性較差,需要先噴金;
(2)其次確認FIB目的,截面看SEM還是TEM,TEM是做普通高分辨還是球差,普通的高分辨減薄厚度比球差要厚一些,最薄可以減薄到十個nm左右的厚度;
(3)確認切割或取樣位置;
(4)確認材料是否耐高壓,FIB制樣一般常用電壓是30kV;
(5)樣品最好表面拋光。
Q1:FIB-TEM制樣流程是什麼?
A:(1)找到目標位置,表面噴Pt(圖上突起的長條形狀)保護;
(2)把目標位置前後兩側挖空,剩下目標區域;
(3)機械奈米手將這個薄片取出,開始離子束減薄;
(4)減薄到理想厚度後停止;
(5)將樣品焊到銅網上的樣品柱上。樣品在紅圈標出的位置,一個銅網上有4個柱子,最多可以放4個樣品;
注意事項:製備好的樣品,需要裝在自吸附盒裡,避免強烈碰撞,強烈碰撞會導致樣品從樣品柱上脫落,一旦脫落,樣品無法找回。