UHV-HP AFM 平臺是一種獨特的原子力顯微鏡分析系統，可在寬壓力範圍內工作。它專注於高度靈活的樣品環境，專用於氣固介面的前沿研究。該系統配備了快速進入裝載鎖和準備室。
- AFM 室- 由不鏽鋼製成，帶有不同尺寸的連線法蘭，用於當前和其他裝置。工作壓力範圍從1 atm 到 UHV（在 150 ºC 烘烤後），
- 用於 AFM 模組的特殊滑軌，以方便對顯微鏡的維修，
- 裝載鎖定室允許裝載和儲存多達 4 個旗形樣品架和 4 個懸臂（尖端），
- 帶 4 軸機械手的兩級製備室（整合石英天平，可加熱至 1000 °C），
- 配備電子束蒸發器 EBV 40A1和離子源 IS 40C1 的製備室，用於樣品表面清潔，
- 特殊設計的泵送系統- 前真空和渦輪分子泵的隔振，
- 沉積速率測量系統TMC13和樣品加熱電源HEAT3-PS控制和穩定樣品溫度，
- 整個泵送和加氣系統由PLC控制器控制，
- 使用者友好的線性傳輸系統。
