3D光學輪廓儀是一種雙LED光源的非接觸式光學儀器，對樣品基本上沒有損害，視樣品選擇不同測量模式，相移干涉模式(PSI)主要用於測量光滑表面粗糙度，垂直掃描干涉模式（VSI）則可以做高度、寬度、曲率半徑，粗糙度的計測等。
3D光學輪廓儀是一款使用便利、效能卓越，價效比高的非接觸無損傷三形貌維測量儀器，第九代系統採用獨有的雙LED照明光源ZL技術，能夠更好的檢測超光滑表面及非常粗糙的表面，它的測量範圍可達亞奈米級粗糙度到毫米級的臺階高度。簡單易用的操作方式、快速資料獲取能力、強大的軟體功能及埃級的重現性等。同時，可選配的X-Y自動平臺，使它具有程式化處理樣品的功能。
該儀器使用FLCOS原理，可實現無需機械運動的快速共聚焦掃描。它具有高速、穩定和無限使用時間的特點。現有的其他品牌共聚焦顯微鏡都採用鏡片震動掃描的方式，因為有機械震動會造成測量時抖動，使用時間也有限。
3D光學輪廓儀的特點：
1、栩栩如生的3D形貌呈現清晰的奈米世界
彩色共聚焦觀察方式使使用者能在視場內觀察到奈米級的細節。
2、難以置信的3D掃描速度
一次完整的3D掃描時間還不到10秒。用掃描速度掃描低反射率的樣品時，3D掃描時間將少於3秒。
3、高質量的物鏡，好的成像質量
水平解析度和縱向解析度要比鐳射共聚焦顯微鏡更，達到了光學顯微鏡系統的極限。
4、多波長的LED光源
有4個獨立的LED光源紅色、綠色、藍色和白色，可以滿足各種應用的需要。
5、驚豔的圖片質量
採用1360×1024的高解析度CCD，顯示解析度達2560×1440畫素。影象銳利、生動、無延遲。
6、順序照明的彩色影象
在掃描時紅、綠、藍三色LED交替照明，並將三張彩色的圖片還原成一幅高解析度的彩色影象。相比其他品牌採用畫素插值演算法，它獲得的圖片色彩保真度和還原性要更勝一籌。
文章來源：奈米壓痕儀_白光干涉儀_光學輪廓儀-岱美儀器，轉載請註明！
