等離子體的密度與激發頻率是多少？

nc=1.2425×108v2

其中nc為等離子體密度(cm-3)，v為激發頻率(Hz)。常見的等離子體激發頻率有三種：超聲波等離子體激發頻率為40kHz，射頻等離子處理機等離子體激發頻率為13.56MHz，微波等離子體激發頻率為2.45GHz。

等離子處理機頻率

各種等離子體產生不同的自偏壓。超聲波等離子體的自偏壓約為1000V，射頻等離子處理機等離子體的自偏壓約為250V，微波等離子體的自偏壓非常低，只有幾十伏，且三種等離子體的作用機理不同。

超聲波等離子體的反應是物理反應，射頻等離子處理機等離子體的反應是物理和化學反應，微波等離子體的反應是化學反應。