一、摘要
虹潤OHR-E400系列60段人工智慧溫控器適用於需要進行高精度多段曲線程序升/降溫控制的系統,它可根據生產過程的要求,按照一定的曲線進行控制,最多可分59段曲線物件進行程式設計控制,每一段均採用PID引數設定控制,使控制更為精確可靠,方便靈活的曲線控制功能,可實時監控曲線程式段的執行時間和狀態,多種事件輸入功能。透過多種曲線控制輸出功能,可實現曲線控制暫停、曲線控制清零、曲線控制步進等功能,並可實現手/自動無擾動切換。
二、產品的市場背景
單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環境中,用石墨加熱器將多晶矽等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的裝置。單晶爐需要控制的內容包含晶體的直徑、溫度(功率)、原料(矽料)、洩漏率和氬氣質量等,其中溫度控制好壞直接影響到是否成為晶體的關鍵因素。虹潤自主開發的虹潤OHR-E400系列60段人工智慧溫控器在單晶爐的溫度控制中發揮著重要的作用。
三、產品的主要技術原理
1、軟體採用人工智慧控制演算法,透過上電自動跟蹤測量值變化,根據時間和所設定控制值的函式關係分段實現溫度的升溫、保溫和降溫的溫度調節。
2、根據程式設計的生產工藝曲線,可實現曲線的步進、跳轉、停止、清零等功能。
3、產品在整個單晶路溫度調節中主要負責溫度的精準控制。
四、產品的應用
虹潤OHR-E400系列60段人工智慧溫控器在單晶路溫度控制原理圖見下圖:
電路說明:交流電源經變壓器降壓後使用,輸出電壓25V,輸出電流28A、MJYD-JL-75為閘流體智慧模組,內含閘流體和移相控制電路,輸出最大電壓450V,最大電流75A,L1為過流保護熔斷器,RSV為過壓保護阻容元件。RW為電爐絲。
OHR-E400輸出為0-10MA電流,經過1K電阻後,輸出變為0-10V直流電壓,滿足閘流體模組的輸入電壓要求。
主要控制裝置:虹潤OHR-E400系列60段人工智慧溫控器
輔助裝置:熱電偶、可控矽、固態繼電器、過壓保護阻容器件等
根據單晶爐溫度控制的特點,虹潤OHR-E400系列60段人工智慧溫控器設定工藝曲線如下:
按照上述的設定引數試驗控制效果極佳,控制精度可達±0.5°C。
產品圖片:
五、結束語
採用虹潤OHR-E400系列60段人工智慧溫控器作為主核心控制系統以來,碲鎘汞單晶爐的控制執行狀況良好,至今仍無故障出現,完全可以替代進口的控制儀表。無論從執行實際狀況來看,還是從價效比來看,選擇OHR-E400確實能夠完全滿足要求。