真空技術

Tecnotion是真空直線電機領域的專家。具有多年設計和製造真空直線動子線圈和定子磁軌的經驗。Tecnotion不僅可以提供滿足最苛刻真空環境需求的直線電機，也可以提供經濟型的真空電機產品。

越來越多的高科技應用需要真空解決方案來降低不需要的化學反應，或者反應過程中對環境及周圍機器裝置的汙染。真空應用的範圍，如平臺和龍門的運動控制，檢測，切割，封裝，光刻, 薄膜沉積，濺鍍及電子束。運動是真空環境中一個主要的挑戰。耐用性，可靠性，多功能性和放氣都是真空應用中重要的因素，任何一個因素出現問題都意味著裝置長時間的停機。擁有的成本在初始投資時就應該被考慮到。

真空中運動系統的潛在維護成本很高。真空直線電機內沒有摩擦運動的零件，使得它可以做到免維護。此外，Tecnotion真空直線電機可以做為一個整體放在真空中,節省了一個進料器。

運動系統的高放氣量會影響生產過程。Tecnotion的真空無鐵芯直線電機的動子線圈和定子磁軌經過特殊的設計，可以應用在最低10^-8 mbar的高真空中。

特點
設計：真空無鐵芯直線電機線圈採用了獨特的金屬密封外殼，它可以阻止線圈釋放的氣體進入真空環境中並使線圈可以耐高真空。儘管有金屬外殼，線圈的質量仍然很輕可以滿足高動態應用需求。

效能：線圈動子和磁軌定子完全真空相容；最小真空氣壓低至10^-8 mbar；總放氣量典型值10^-5 mbar*l/s; 苯系物氣體CxHx排放量典型值 10^-8mbar*l/s

接頭和感測器：線圈內建了溫度感測器和熱敏電阻可以一直監控線圈溫度和過熱保護。感測器和三相線圈均使用真空相容的線纜連線。他們是唯一需要跟外部連線的部件。

清潔度：所有Tecnotion的真空電機產品都在我們荷蘭的無塵室中生產。裝運前，對產品進行清潔處理，以減小最初的放氣；然後將產品進行無塵包裝，以防止在裝運和安裝的過程中受到任何汙染。

發熱：熱管理是真空中最主要的挑戰之一。因此線圈已經被設計成低熱阻，使得熱量能快速傳導離開線圈；與標準的直線電機相同，真空直線電機的效率也很高。這意味著線圈的溫度更低，所以允許有更高的連續推力。

UXXV 系列 連續推力666N 峰值推力4020N

UXXV是真空直線電機系列中最強的。UXXV系列最適合用於需要超高精度和最大推力輸出的過載應用。它的高效率和高電機常數使得產生高推力的同時溫升非常小。

ULV 系列 連續推力150N 峰值推力720N

ULV系列線圈是真空直線電機系列中的中號線圈。ULV系列普遍用於需要高峰值推力或低發熱的應用場合。

UMV 系列 連續推力80N 峰值推力400N

UMV系列是真空直線電機系列中最小號線圈。這個系列非常適合位置控制，適合那些如龍門，或高動態，輕量化且需要極高精度的應用。

主要應用

• 半導體
• 平板顯示
• 檢測平臺
• 光刻
• 電子束離子束應用