電子背散射衍射分析（EBSD）是一種新興的材料研究方法，大規模商業化才20年左右。隨著資訊科技的快速發展，EBSD也取得了突飛猛進的成就，技術日趨成熟。
晶粒取向
為什麼越來越多的研究人員喜歡電子背散射衍射這種分析方法呢？
因為它提供的資訊量大，而且大多是圖表，很直觀。
它和光學顯微鏡一樣，可以觀察分析組織，但光學顯微鏡超過一千倍就看不清楚，對於超細晶組織、針狀、板條、準多邊形等不規則組織則無法分析。
晶界特徵
它也有XRD的功能，能夠進行相分析和織構測定，應力分佈測定，能提供具體晶粒的取向，具有可視性。
它還具備TEM的一些功能，如觀察位錯分佈，進行相識別等等。
KAM（應力分佈）
另外，EBSD還有自己獨特的功能，如再結晶分析，取向差分析，重位點整分析，晶粒橢圓度分析，不同相的取向關係分析等等。
總之，EBSD分析功能強大，將會得到越來越廣泛的應用。
