原子力顯微鏡電磁特性主要包括電流／皮安級電流、掃描擴充套件電阻顯微鏡（ssrm）、開爾文顯微鏡（KFM）、靜電力顯微鏡（EFM）、壓電響應力顯微鏡（PRM）、磁力顯微鏡（MFM）。
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電流／皮安級電流:偏壓條件下水平方向掃描樣品，測量探針和樣品之間的電流，觀察電流分佈。
電流／皮安級電流
掃描擴充套件電阻顯微鏡（ssrm）:透過使用超導電性堅固懸臂，向樣品施加偏壓，測量與探針接觸位置的微電流，在廣域範圍內樣品表面的區域性電阻分佈大於6階。充分覆蓋半導體摻雜濃度範圍。
掃描擴充套件電阻顯微鏡（ssrm）
開爾文顯微鏡（KFM）：透過在導電懸臂和樣品之間施加交流電，依據反饋透過反向加直流電壓使探針振幅為零，從而獲得樣品表面電位。包括：CC-KFM(迴圈接觸式KFM)、NC-KFM(非接觸式KFM)
開爾文顯微鏡（KFM）
靜電力顯微鏡（EFM）：在導電懸臂和樣品之間施加AC或DC電壓訊號，並透過AC電壓形成靜電力分量（振幅分量和相分量）的影象。包括：EFM(AC)···AC場響應、EFM(DC)···DC場響應、KFM可以直接測量樣品表面電位、EFM不能直接測量樣品表面電位，但它的響應速度比KFM快，而且便於觀察樣品的電學特性。
靜電力顯微鏡（EFM）
壓電響應力顯微鏡（PRM）：在探針和樣品之間施加AC電流，透過掃描樣品觀察樣品的應變分佈，測量出鐵電的應變分量。
壓電響應力顯微鏡（PRM）
磁力顯微鏡（MFM）：磁性探針和樣品之間產生磁力作用，隨著懸臂振動電位發生變化，形成樣品表面電點陣圖。真空環境下測試樣品時，可獲得高靈敏度、高解析度的磁疇成像。
磁力顯微鏡（MFM）
